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肯富來(lái)離子泵與分子泵的聯(lián)系與區(qū)別
肯富來(lái)的分子泵與離子泵的聯(lián)系與區(qū)別：
聯(lián)系：分子泵與離子泵都是真空泵。
區(qū)別：分子泵與離子泵的工作原理不同：
離子泵的工作原理:離子泵是由上下兩塊平行的板狀鈦陰極以及位于兩個(gè)陰極之間的柵狀不銹鋼陽(yáng)極構(gòu)成。在兩個(gè)鈦陰極外部是兩張平行的板狀永久磁鐵，它們形成的磁場(chǎng)垂直穿過(guò)泵體。工作時(shí)，陰極表面溢出的自由電子在電磁場(chǎng)的作用下沿螺旋線軌跡飛向陽(yáng)極。電子在飛行過(guò)程中與氣體分子發(fā)生碰撞并產(chǎn)生正離子和二次電子。二次電子沿著新的螺旋線軌跡繼續(xù)飛向陽(yáng)極，并在飛行的過(guò)程中撞擊其他氣體分子；正離子則在電場(chǎng)力作用下加速，并最終撞擊在陰極表面。由于正離子具有較大動(dòng)能，他在陰極表面的撞擊引起陰極表面鈦微粒子四散飛濺。一部分濺射出去的鈦微粒子在飛行過(guò)程中遇到活潑氣體分子并與之發(fā)生化學(xué)反應(yīng)形成氧化鈦、氮化鈦等固體物質(zhì)，降落并逐漸堆積在泵腔內(nèi)，從而將這些氣體分子固定住；另一些鈦微粒子在飛行過(guò)程中沒(méi)有與任何氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，又重新落在陰極或者陽(yáng)極表面。另一方面，正離子在飛行過(guò)程中也會(huì)撞擊到一些其他的氣體原子，當(dāng)它與一些較輕的氣體原子發(fā)生碰撞時(shí)發(fā)生能量交換，從而使這些輕原子獲得了較高的速度而可以射入陰極材料內(nèi)部，隨著陰極材料表層所含這類氣體原子濃度的增加，部分氣體原子向陰極材料深處擴(kuò)散，從而使其被牢牢地鎖定。
分子泵的工作原理 ：分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。
這種泵具體可分為：
1)牽引分子泵 氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量，被驅(qū)送到泵的出口。
2)渦輪分子泵 靠高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
3)復(fù)合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復(fù)合型的分子真空泵。
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