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前級泵是為了降低羅茨泵的排出壓力
羅茨真空泵不能獨自使用,要配上前級泵構成機組,運用前級泵是為了下降羅茨泵的排出壓力,因為真空泵的壓縮比是有限的,所以挑選前級真空泵的抽速是主要的,真空泵的最大壓縮比是隨排出壓力而改變的,在高排出壓力下,最大壓縮比最多大3:1,而最高壓縮比是在排出壓力為1到10mbar之間(1 mbar=0.75Torr)可達50:1,乃至更高些。
因而,挑選前級泵的抽速,要根據肯富來真空泵的長時間作業(yè)壓力范圍思考。
例如有一系統(tǒng)用羅茨真空泵機組抽氣,請求在1 mbar進口壓力時有600升/秒的抽速,并長時間作業(yè),問應挑選多大抽速的前級泵。先假定用30升/秒的前級泵時,壓縮比K=600:30=20得出K=20時最大排出壓力為30 mbar。
由此得出,當選用30升/秒前級泵時,在進口壓力低于1.5 mbar以下作業(yè)是可行的,但高于1.5 mbar進口壓力作業(yè)時就選用大一些前級泵了。該例中,作業(yè)真空度1 mbar低于1.5 mbar,所以30升/秒的前級泵可以滿意上述真空系統(tǒng)的抽氣請求。
首先應當思考的是,對預抽時間的請求疑問,假設正常作業(yè)時間遠比預抽時間長,可選較小的前級泵;假設真空室較大,而且請求很快預抽,就要用較大的前級泵,有時為了非常好表現設備的功率,機組裝有較大的預抽泵,在正常作業(yè)后停掉它,而用較小的前級泵保持,這樣做是為了節(jié)省功率。當選用往復式或液環(huán)式粗真空泵作為真空泵的前級泵時,前級泵的抽速通常為羅茨真空泵的1/2-1/4,不能太大,不然將使壓縮比過大,形成真空泵的排氣溫度高而不能正常作業(yè)。
選用前級泵時還有必要思考被抽氣體中是不是有腐蝕性介質,是不是富含可凝性氣體,是很多的仍是微量的。假設富含腐蝕性氣體,就不能選用油封機械泵,油封機械泵還不適合抽除富含很多可凝性蒸汽的氣體,不然將會使密封液很快乳化,抽除富含微量可凝性蒸汽的氣體時,也有必要選用帶有氣鎮(zhèn)設備的油封機械泵作為前級泵。
對真空泵機組的極限壓力的請求,也是挑選前級泵的有必要思考的,對極限真空度請求較高(達1X10-3Pa~1X10-2 Pa壓力)通常選用雙級旋片式油封機械泵或雙級滑閥機械泵作為前級泵。極限真空度請求在(1X10-2 Pa~1X10-1Pa)之間可選用單級油封機械泵作為前級泵,極限真空度請求在133~1333Pa之間可選用往復式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級泵。
為了取得在低進口壓力(1~100pa)時的高的抽氣速率,可用一臺真空泵作為另一臺羅茨真空泵的前級泵構成的三級或四級機組,此刻羅茨真空泵之間的抽速比通常在2~5之間。
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